‌真空泵本身漏气的原因及解决方法‌主要包括以下几个方面：

　　(1)密封圈漏气。解决方案：检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈

　　(2)气镇阀垫圈损坏或未拧紧。解决方案：更换垫圈并拧紧气镇阀

　　(3)排气阀片损坏，密封不好。解决方案：更换气阀片

　　(4)真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。解决方案：修整真空泵腔或更换。

　　(5)由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。解决方案：拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。

　　(6)转子*簧变形或折断及旋片动作不灵。解决方案：整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好

　　(7) 进气口的过滤网被堵塞。解决方案：取下过滤网清洗干净，再装上去。

　　(8)因加工不良或磨损造成配合间隙过大。解决方案：检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。

　　(9)真空泵运转中摩擦发热。温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。解决方案：通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。